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| 一種方法，用于采用設(shè)置在坐標(biāo)測量機(jī)器（ＣＭＭ）４的支架３上的掃描探針２以恒定的掃描速度｜Ｖ↓［ａ］｜來掃描工件１表面。該ＣＭＭ包括第一組驅(qū)動(dòng)裝置（６，７，８），以便沿著三個(gè)線性軸（ｘ，ｙ，ｚ）移動(dòng)支架，并且支架３包括第二組驅(qū)動(dòng)裝置（１４，１７），以便使掃描探針２相對(duì)于所述支架３以兩個(gè)自由度移動(dòng)。該方法包括連接至驅(qū)動(dòng)裝置組（６，１４，１７）的控制裝置３３，以及用于存儲(chǔ)待掃描表面的理論剖面和坐標(biāo)的存儲(chǔ)裝置。 |
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掃描速度恒定的掃描探針
一種方法，用于采用設(shè)置在坐標(biāo)測量機(jī)器（４）的支架（３）上的掃描探針（２）掃描工件（１）的表面，所述坐標(biāo)測量機(jī)器包括第一組致動(dòng)器（６，７，８），以便沿著三個(gè)線性軸（ｘ，ｙ，ｚ）移動(dòng)所述支架，所述支架（３）包括第二組致動(dòng)器（１４，１７），用于致動(dòng)所述掃描探針（２）相對(duì)于所述支架（３）的移動(dòng)，所述坐標(biāo)測量機(jī)器還包括一個(gè)控制器，被設(shè)置成驅(qū)動(dòng)所述的兩組致動(dòng)器（６，７，８，１４，１７），所述方法包括下述步驟： （ｉ）確定掃描速度（｜Ｖ↓［ａ］｜）值； （ｉｉ）操作所述的第一和第二組致動(dòng)器（６，７，８，１４，１７），以便將探針尖端（２５）定位成接觸所述表面（１）； （ｉｉｉ）操作所述第一組致動(dòng)器（６，７，８），以便沿著一確定的軌跡（３６）移動(dòng)支架（３）； （ｉｖ）操作所述第二組致動(dòng)器（１４，１７），以便在支架（３）相對(duì)于表面相對(duì)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)產(chǎn)生所述的掃描探針（２）相對(duì)于支架（３）的移動(dòng)； 由此，所述控制器（３３）沿著一個(gè)掃描路徑（３７）而調(diào)整所述兩組驅(qū)動(dòng)裝置（６，７，８，１４，１７）的驅(qū)動(dòng)，以便至少在所述掃描路徑（３７）的部分（４０）上維持掃描速度等于所述確定值｜Ｖ↓［ａ］｜。
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| 專利號(hào): |
200810096381 |
| 申請日: |
2008年4月17日 |
| 公開/公告日: |
2008年10月22日 |
| 授權(quán)公告日: |
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| 申請人/專利權(quán)人: |
六邊形度量衡股份公司 |
| 國家/省市: |
瑞典(SE) |
| 郵編: |
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| 發(fā)明/設(shè)計(jì)人: |
P·喬迪爾、B·彼特森、S·努特、W·威爾科克斯 |
| 代理人: |
趙華偉 |
| 專利代理機(jī)構(gòu): |
中國專利代理(香港)有限公司(72001) |
| 專利代理機(jī)構(gòu)地址: |
香港灣仔港灣道23號(hào)鷹君中心22字樓() |
| 專利類型: |
發(fā)明 |
| 公開號(hào): |
101290212 |
| 公告日: |
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| 授權(quán)日: |
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| 公告號(hào): |
000000000 |
| 優(yōu)先權(quán): |
歐洲專利局2007年4月18日07106415.8 |
| 審批歷史: |
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| 附圖數(shù): |
4 |
| 頁數(shù): |
9 |
| 權(quán)利要求項(xiàng)數(shù): |
2 |
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