潔凈廠房內(nèi)的工業(yè)管道材料和閥門是有考究的。應(yīng)根據(jù)所輸送物料和使用工況來進(jìn)行選用，應(yīng)選擇滿足生產(chǎn)工藝的要求和使用特點(diǎn)，根據(jù)比較后確定。氣體管道和閥門的選用應(yīng)符合生產(chǎn)工藝的要求， 當(dāng)氣體純度大于或等于99.999％，露點(diǎn)低于－76℃時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管。閥門則應(yīng)采用隔膜閥或波紋管閥。
當(dāng)氣體純度大于或等于99.99％，露點(diǎn)低于－60℃時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管。除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外，其他氣體管道宜采用球閥。
在滿足不同的生產(chǎn)工藝要求的前提下，可以選擇比較合適的材質(zhì)。大多數(shù)工廠采用的都是不銹鋼管，因?yàn)樗瘜W(xué)穩(wěn)定性好，滲透性小，吸附性差等特性，輸送的氣體質(zhì)量能滿足生產(chǎn)工藝的要求。
如何選擇合適的閥門呢？
閥門的嚴(yán)密性好壞是影響氣體純度的重要因素之一。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房管道閥門基本上采用的都是不銹鋼材質(zhì)，閥門類型有隔膜閥、波紋管閥和球閥。可以根據(jù)氣體純度來選擇相符合的閥門。
